微机电工程材料、微机电器件与系统、微机械学、微纳米测量与测试技术、微细加工技术、现代传感技术、精密工程制造基础和光存储技术等。
包括主要课程实习、设计（毕业论文）等。
本专业主要培养从事微机电系统工程方面的设计制造，生产运行?科技开发和技术经济管理方面的人才。
本专业学生主要学习微机电系统工程的基本知识、基础理论和研究方法；了解微机电系统工程发展方向；具有从事实际工作的基本能力。
1.掌握微机电系统工程的基本知识和基本理论；2.了解微机电系统工程的发展方向；3.掌握微机电系统工程基础理论和研究方法；4.具有实际工作的基本能力；5.熟练掌握一门外国语，具有交流沟通的能力；6.具有一定的归纳、整理、分析、设计、撰写论文的基本能力、进行学术交流的能力、较强的创新意识和创新精神。
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